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行业新闻

ASML柏林火灾更新:DUV 线正常,部分 EUV 系统受到影响

信息来源:半导体行业观察 | 发布日期: 2022-01-12 | 浏览量:
关键词:ASML,DUV 线,EUV 系统

在上周发生火灾后,ASML 提供了其位于德国柏林的工厂受损情况的最新信息。


荷兰半导体元件公司是全球最大的光刻系统供应商;提供用于制造集成电路的机器。该公司本周表示,其深紫外 (DUV) 和极紫外光刻 (EUV) 线都受到了影响。但是DUV 系统能够恢复的地方,EUV 系统仍然处于离线状态。


ASML 对该事件进行了初步评估:它说火灾发生在柏林现场的一栋生产大楼中,烟雾部分影响了相邻的建筑物。


“我们已经能够在这些建筑物的某些部分恢复生产。其他建筑物没有受到影响,并且可以完全投入使用,”该公司在更新中表示。


虽然对损坏的影响评估仍在进行中,但 ASML 表示,DUV 组件的组件出现了一些中断,但生产已经重新开始,不应影响计划的产量。


然而,该公司指出,火灾确实影响了其 EUV 系统晶圆夹具的部分生产区域。


“我们仍在完成该生产区域的恢复计划,并确定如何在我们的输出计划和现场服务中尽量减少对我们的 EUV 客户的任何潜在影响。”


ASML 将于 1 月 19 日公布其第四季度和 2021 年全年业绩,预计将提供有关该事件的进一步更新


柏林工厂(在 ASML 收购 Berliner Glas 后于 2020 年收购)为 ASML 的光刻系统制造组件,包括晶圆台和夹具、光罩卡盘和反射镜块。关于该事件的细节很少,但柏林消防部门表示,位于柏林新克尔恩地区布里茨区的 Waldkraiburger Strasse 的一栋三层“工业”建筑二楼的一个 200 平方米的自动清洁系统着火了。


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