在上周发生火灾后，ASML 提供了其位于德国柏林的工厂受损情况的最新信息。

荷兰半导体元件公司是全球最大的光刻系统供应商；提供用于制造集成电路的机器。该公司本周表示，其深紫外 (DUV) 和极紫外光刻 (EUV) 线都受到了影响。但是DUV 系统能够恢复的地方，EUV 系统仍然处于离线状态。

ASML 对该事件进行了初步评估：它说火灾发生在柏林现场的一栋生产大楼中，烟雾部分影响了相邻的建筑物。

“我们已经能够在这些建筑物的某些部分恢复生产。其他建筑物没有受到影响，并且可以完全投入使用，”该公司在更新中表示。

虽然对损坏的影响评估仍在进行中，但 ASML 表示，DUV 组件的组件出现了一些中断，但生产已经重新开始，不应影响计划的产量。

然而，该公司指出，火灾确实影响了其 EUV 系统晶圆夹具的部分生产区域。

“我们仍在完成该生产区域的恢复计划，并确定如何在我们的输出计划和现场服务中尽量减少对我们的 EUV 客户的任何潜在影响。”

ASML 将于 1 月 19 日公布其第四季度和 2021 年全年业绩，预计将提供有关该事件的进一步更新

柏林工厂（在 ASML 收购 Berliner Glas 后于 2020 年收购）为 ASML 的光刻系统制造组件，包括晶圆台和夹具、光罩卡盘和反射镜块。关于该事件的细节很少，但柏林消防部门表示，位于柏林新克尔恩地区布里茨区的 Waldkraiburger Strasse 的一栋三层“工业”建筑二楼的一个 200 平方米的自动清洁系统着火了。