热门关键词: 石墨制品 | 纯矽制品 | 特殊金属 | 金属制品 | 陶瓷制品 | 石英制品 | 二手设备
主要有预承载室(LoadLock)与真空转运机械臂腔体(Robot Transfer Module)所进行,wafer放置于卡匣并放置在承载室内,将承载室内的环境压力预抽至低真空,由Laser Sensor 判断卡匣内wafer的放置状况。
Robot 依次将每片wafer的制程设定传输至所需的chamber,一般把多制程chamber与晶圆传输系统模组统称为集结式系统(Cluster Tool),如此可降低环境水气与污染物直接与制程腔体接触,增加制程间稳定性与速度。