真空系统的终极压力（ultimate pressure）受泵内的泵油（pump oil）限制。

泵油有两种作用：
1.接表面迁移而散开到表面
2.油蒸汽逆抽气方向而倒灌

降低泵油的混入和倒灌（back-fill）方法：
1.选择不用油的泵，如冷冻泵（cryopump）；
2.使用低蒸汽压的泵油（pump oil）；
3.遵守真空系统的操作步骤，使倒灌系数为极小；
4.使用阻挡器（creep barrier）、调节板（baffle）和冷冻陷阱（cold trap）。
注：阻挡器（creep barrier）材质为铁氟龙（teflon）不沾油

真空系统----阀（valve）
阀（valve）：阀是用作真空系统控制气体流动的开关，用来将系统分成2部分。

真空阀（vacuum value）：将两个不同压力的区间隔开，包括粗抽阀（roughing valve）和前置阀（foreline valve）；放置在前置泵和真空泵之间或前置泵和反应室之间。
高真空阀（high vacuum valve）放置在反应室和高真空泵之间，包括闸阀（gate valve）和滑动型阀（sliding valve）；冷冻泵常用的是控制闸板转动的蝶阀（butterfly valve）和调节流量用的节流阀（throttle valve）
舒压阀（relief valve）：底台侧压超过预设值会自动打开。
除此之外还有排气（exhaust）用的阀门，如针阀（needle）和漏气阀（leak valve）

真空系统----残余气体分析仪(residual gas analyer)
监控抽气过程，测真空封合与焊接处之真漏，装置原件的释气（outgassing）和流量控制系统的泄漏（leakage），也可作系统测漏之用。