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离子注入制程问题讨论与分析-1

信息来源：本站 | 发布日期： 2020-02-11 | 浏览量：

关键词：离子注入制程问题讨论与分析-1

微粒污染（Particle）

离子注入常见的微粒污染来源：

机械臂（Robot）与其他部件移动的装置，相互摩擦而慢慢磨损会产生微粒。
真空阀件，例如连接管路与腔体的bellows、密封垫片的O-ring或阀件叶片与传动轴，这些都是微粒的产生源。
因高能离子束冲击而出的表面光阻吸附在腔体壁易产生微粒污染
排尘系统中的高效空气微粒过滤器（High Efficiency Particulate Air）等问题易产生微粒

转载请注明出处（离子注入制程问题讨论与分析-1：/companynews/422)

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