•  粒子碰撞

1. 弹性碰撞（Elastic Collision）

由于电子动能较小，当原子或分子碰撞时，无法达到激发态或离子化，只发生动能交换并保持动能守恒。

2. 非弹性碰撞（inelastic collision）

当电子动能达到12eV以上时，碰撞会造成原子或分子产生离子化（Ionization）、原子激发及分子分解等。

非弹性碰撞对于气体放电（Discharge）和电浆等维持非常重要。

在chamber里面的粒子都处于混乱的运动状态，所以我们通常以平均自由径（Mean Free Path，MFP）来定义与离子在产生碰撞之前所移动的平均距离，以    n  表示。

  n=1/p

P：chamber里面的压力（Pressure）

当chamber里面的气体分子流量增加时，反应室里的压力会增高，也就代表气体分子的碰撞频率高，使得气体分子在产生碰撞之前所移动的平均距离变小。反之当压力降低则平均距离变大。

平均自由径在电浆里面很重要，而我们可以借由控制chamber里面的压力来影响制程结果。