• 直流（DC）式电浆

如上图示为DC电浆示意图，chamber内的压力可以由气体的流量以及pump的抽气速率（Pumping Speed）来控制。

当chamber的压力接近于1个大气压（Atmosphere，Atm）时，电极板表面将吸附相反的带电荷粒子使其电荷密度饱和，形成一个平板电容，此状态下电极板之间没有电荷的移动，所以电流为 0 A。反之，如果降低chamber内的压力，这腔内粒子数降低，会破坏之前的平衡状态，导致带电荷粒子正在电极板之间流动产生电流。 

当chamber处于一个特定区间的低压（Low Pressure）状态时。如图示，带正电荷的气态离子会因为两电极板之间所提供的电场，加速向左电极板移动并轰击（Bombardment），进而产生二次电子（Second Electron）。因为二次电子带负电，所以将在电场加速向右电极板前进。又因为电极板之间的距离远大于电子的平均自由径，所以在2nd e- 前进时会和其他气体分子Ａ2 碰撞产生A原子的解离反应（Dissociation）【公式1】，而此解离反应产生的二次电子能量小于10eV。而原子A也会因为撞击产生的能量被激发成激态（Excited State）原子A* 【公式2】。当二次电子撞击提供的能量大于10eV时，气体分子将被离子化（Ionization）产生带正电荷的气态离子【公式3】。所以在气体分子被离子化后，会产生大量电子，多于撞击之前，且此正离子也会在电场的加速下往左电极板移动撞击，形成一连串的反应，当达到一定数量时，便会造成电崩溃（Breakdown）的状态，然后产生辉光放电（Glow Discharge），也就是电浆区（Plasma）。

因为当离子在激发态（Excited State）时是极不稳定的，很容易恢复到基态（Ground State）然后以光的形式释放出能量即光子【公式4】。

公式中 h：为普朗克常数 v：电浆发光的颜色频率

不同的原子有不同的轨道结构和能阶，因此发光的频率也都不相同，所以不同的气体表现出的颜色都不相同，因此常用颜色做简单的参照区别。

当我们将阳极和阴极之间的距离缩短，使得阳极贴近于负态发光区，也就是目前DC溅镀的使用方法。如上图示，因为电子的质量远小于离子，所以在相同直流电压下，电子的移动速度远比离子快，所以电子会快速往阳极方向移动，并造成电浆区里的离子浓度高于电子浓度。这将使得电浆区的电位Vp略高于阳极，而此电位又会使离子往阴极方向移动，并减缓电子从电浆区移出。所以当电浆内离子和电子达到平衡状态时，离子流出电浆的流量会等于电子流出电浆的流量，这样才能使Vp电位稳定。因此电浆区内没有任何电荷的差距，没有电场产生，电位为Vp。而离子流出电浆往阴极移动时会经过阴极暗区，加速撞向电极板产生二次电子。

在DC电浆的应用上，阳极和阴极材料必须为导体。为了可以让撞击产生的电荷可以排出，不会累积在板面上。如果是非导体，那么电荷会持续累积，无法产生二次电子，就无法继续后面的电浆反应。