射频电浆电源（RF Generator）的功率量测仪器

精确的控制射频电浆电源（RF Generator）的功率传输，是电浆制程中的关键要素之一。半导体机台大部分使用的是13.56MHz频率的射频电浆电源。在chamber之间会有一阻抗匹配器（Impedance Matching Boxing），该器件会将复数（实数和虚数）阻抗转换为负载阻抗50欧姆，使电源可以将最大功率转移至chamber，并把反射功率降至最低。

一般如果想得知RF射频电源的实际功率及效能，然后对阻抗匹配器进行校正，就得采用量测连接方式。现将RFG接至转换器（Transducer）的RFG输入端，而假负载接至转换器的负载端，然后将RF Power Meter接至转换器。便可以从RF Power Meter得知RFG的功率，也就可以得知设定好的RFG功率与实际功率是否相符。