热门关键词: 石墨制品 | 纯矽制品 | 特殊金属 | 金属制品 | 陶瓷制品 | 石英制品 | 二手设备
该系统多为多chamber设计的,架构分为一个批式wafer放置盒(Cassette LoadLock)、晶圆传输腔体(Transfer Chamber)、和两个制程腔体(Process Chamber)。Process chamber 的电浆是由wafer承载器上方的RF上电极配合反应气体、腔体压力所产生。氮化硅(SiNx)chamber主要以SiH4为主要反应气体,SiOx是以TEOS为主要反应气体。