热波法（Thermal Wave）

此方法一般用作离子注入之后，退火之前。属于非破坏性量测，可用于产品的晶圆上。但是，当试片是低剂量参杂注入时，热波信号的改变会变得非常不明显，量测灵敏度会降很多。一般而言，热波量测的时间与步骤和热波系统中的镭射等因素会造成量测值失真。用于量测晶格排列有无被离子轰击而破坏较好。