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一般在空气中会有尖端放电的现象,称之为火花崩溃电压(Spark Breakdown Voltage),在安全规范下,每升高8kev,就必须有1cm的安全放电距离。
所以,离子注入机台会产生一个200~250Kev的能量,就必须要有至少30cm以上的安全距离。在工作前,必须使用接地棒(Grounding Bars)将所有机台残余高压导入地面,以防止发生触电或漏洞的安全事件。