离子注入机中常见毒性物质

元素

参杂物来源

状态

症状

硼（B）

三氟化硼（BF3）

液/气

1.具有腐蚀性

2.暴露其中会引起眼睛、鼻子、喉咙、肺部等发炎

3.最重肺部会积水

砷（As）

三氢化砷（AsH3）

气

1.大蒜味

2.暴露在500ppm下几分钟后会致命

3.在空气中易爆炸

4.直接接触到砷的粉末会导致皮肤、肺部、肝脏等发炎伤害

磷（P）

三氢化磷（PH3）

气

1.易燃、空气中浓度高于1.6%时会爆炸

2.鱼腥味

3.暴露在10ppm时会引起头痛、呼吸困难、缺乏食欲、胃痛

锑（Sb）

锑（Sb）

固

1.易碎、银白色金属元素

2.直接接触到锑粉末会导致皮肤、眼睛发炎损害

3.最严重会引起心脏、肝脏以及肾脏损害